جلسه دفاع از پایان نامه: نادره سیفلو، گروه مهندسی الکترونیک
خلاصه خبر: ساخت نانوساختارهای سیلیکونی برای کاهش هدایت گرمایی
چکیدههدف این پایان نامه ساخت نانوساختارهای سیلیکونی برای کاهش هدایت گرمایی سیلیکون می¬باشد. نانوساختارهای مورد نظر بدون کاهش قابل ملاحظه در هدایت الکتریکی، هدایت گرمایی را کاهش می¬دهند و برای ساخت ادوات برداشت انرژی حرارتی تلف شده در محیط بر اساس سیلیکون بسیار مناسب هستند. با توجه به اینکه رسانایی الکتریکی خوب و رسانش حرارتی کم برای تبدیل موثر انرژی حرارتی به الکتریکی لازم است، در این پروژه با ایجاد نانوساختار سیلیکونی موفق به کاهش رسانش حرارتی سیلیکون شده¬ایم که این امر کارایی ترموالکتریک افزاره های سیلیکونی را افزایش می¬دهد. برای ایجاد ساختارهای متخلخل سیلیکون، از روش CVD برای لایه نشانی سیلیکون و از روش لیتوگرافی کلوئیدی در کنار زدایش عمودی سیلیکون به روش RIE برای ایجاد الگوهای نانومتری استفاده کرده¬ایم که نسبت به روش¬های دقیق نانولیتوگرافی پروسه¬ای ساده و مقرون¬به¬صرفه برای ساخت الگوهای کاربردی نانومقیاس است و مقیاس feature size را با تغییر اندازه ذرات کلوئیدی می¬توان به¬سادگی کنترل کرد. برای ایجاد الکترودها از روش لایه¬نشانی تبخیری آلومینیم و لیتوگرافی الگوی الکترودها استفاده کرده¬ایم. در نهایت هدایت الکتریکی و گرمایی نمونه¬ها بررسی شده¬است. 26 تیر 1396 / تعداد نمایش : 3464
|